在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量，測(cè)量時(shí)先對(duì)焦，后對(duì)準(zhǔn)，再讀數(shù)（計(jì)數(shù)），最后計(jì)算處理。讀數(shù)來(lái)自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng)，對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源，因?yàn)椋谟跋穹椒y(cè)量的儀器，如果被測(cè)件不能被有效正確的照明，則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外，環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素。基于上述分析，可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源：
（1）光柵計(jì)數(shù)尺的誤差；
（2）工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差；
（3）工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶來(lái)的誤差；
（4）顯微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶來(lái)的誤差；
（5）測(cè)量室溫度偏離20℃參考溫度帶來(lái)的誤差；
（6）光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

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